SK머티리얼즈가 일본 쇼와덴코와의 합작법인을 섭립해 반도체 소재에서 식각(蝕刻)가스 분야로 사업 확장에 나선다.

양사는 1년여 간의 합작사업 검토를 거쳐 지난 18일 생산·판매를 위한 합작법인 설립 계약을 체결했다. 합작법인 사명은 SK쇼와덴코로 지분율은 SK머티리얼즈가 51%, 쇼와덴코가 49%다.

초기 투자금액은 210억원 규모이며 양사는 식각가스 수요 증가에 맞춰 지속적인 증설 투자를 실행할 계획이다.

식각가스는 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수가스다.


향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요가 급증할 전망이며 이중에서도 SK쇼와덴코가 생산할 CF계 가스는 3D낸드 적층화에 따라 사용량이 빠르게 늘고 있다.

SK머티리얼즈 관계자는 “식각가스 분야 최고 수준의 기술을 가진 쇼와덴코와의 합작법인을 통해 식각가스시장 조기 진입이 가능해졌다”고 말했다. 

합작법인은 경북 영주의 SK머티리얼즈 공장 내에 세계 최대규모의 플루오르메탄(CH3F) 1차 생산설비 20톤을 내년 8월까지 건설 완료하고 CF계 가스사업도 순차적으로 추진한다.

SK머티리얼즈와 쇼와덴코사는 향후 3D 낸드 확산에 발맞춰 생산 설비 증설에 나서며 중국 등 글로벌 설비 확장뿐 아니라 다양한 반도체·디스플레이 소재사업을 추진하는 데 있어서도 협력할 계획이다.

삼불화질소(NF3)와 육불화텅스텐(WF6) 글로벌시장 점유율 1위인 SK머티리얼즈는 지난 2월 출범 이후 채 1년이 안 되는 시간 동안 발빠른 사업 확장에 나서고 있다.

지난 4월 SK에어가스를 인수해 산업가스사업에 진입했으며 5월에는 합작법인인 SK트리켐을 설립해 프리커서 분야로도 진출했다.

SK머티리얼즈는 앞으로도 미국과 일본 등 반도체 소재 선도국 업체들과 추가적인 사업 협력관계를 구축할 계획이다.