|
29ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã10ºÐ ÇöÀç µð¿£¿¡ÇÁ´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 1190¿ø(7.54%) ¿À¸¥ 1¸¸6970¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.
Àü±¸Ã¼´Â ÈÇбâ»óÁõÂø(CVD), ¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD) µî °øÁ¤À» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§ ¹Ú¸·°ú ±Ý¼Ó ¹è¼±À» Çü¼ºÇÒ ¶§ ±âÃʰ¡ µÇ´Â ¼ÒÀç´Ù. ijÆÐ½ÃÅÍ¿¡ ÁõÂøµÅ Àü·ù ´©¼³°ú °£¼·À» ¸·´Â ¿ªÇÒµµ ÇÑ´Ù.
ÃÖ±Ù ±¹³» ¾÷üµéÀº Áß±¹ ÀÇÁ¸µµ¸¦ ³·Ãß°í Àü±¸Ã¼ »ý»ê ºñÁßÀ» ³ôÀ̱⠽ÃÀÛÇϰí ÀÖ´Ù. ÀÚüÀûÀÎ »ý»ê ¹× °ø±Þ ¹ë·ùüÀÎ ¾øÀÌ´Â ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ °æÀïÇϱâ Èûµç »óȲµéÀÌ ¸¸µé¾îÁö°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¹Ì±¹ÀÇ ÀÎÇ÷¹À̼ǰ¨Ãà¹ý(IRA) ¹× EU(À¯·´¿¬ÇÕ)ÀÇ CRMA(ÇٽɿøÀÚÀç¹ý) µî Áß±¹À» °ßÁ¦ÇÏ´Â ¹«¿ª ±¸Á¶°¡ Çü¼ºµÇ°í Àֱ⵵ ÇÏ´Ù.
µð¿£¿¡ÇÁ´Â 2005³â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ¾Ë·ç¹Ì´½(Al) CVD Àü±¸Ã¼¸¦ °øµ¿ °³¹ßÇÏ¸é¼ ÇØ´ç ½ÃÀå¿¡ º»°Ý ÁøÀÔÇß´Ù. 2007³â¿¡´Â ACL(Amorphous Carbon Layer) Àü±¸Ã¼¸¦ °³¹ß ¹× ³³Ç°ÇÏ¸é¼ À̸§À» ¾Ë·È´Ù. ACL Àü±¸Ã¼´Â ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ °øÁ¤¿¡¼ ¾²ÀÌ´Â ¹°ÁúÀÌ´Ù. ³ë±¤Àº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR)°¡ ¹ß¶óÁø ¿þÀÌÆÛ¿¡ ȸ·Î ÆÐÅÏÀÌ »õ°ÜÁø Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ ¾ñ°í ºûÀ» Á¶»çÇÏ´Â ´Ü°è´Ù. PRÀ» ÀÔÈ÷±â Àü ACL Àü±¸Ã¼¸¦ ºÐ»çÇØ È¿°úÀûÀÎ ÆÐÅÍ´×ÀÌ ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù.
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú·ÂÀº ¼¼°èÀûÀÎ ¼öÁØÀ¸·Î Æò°¡¹ÞÁö¸¸ ¼ÒÀç, Àåºñ µîÀÌ ÇØ¿ÜÀÇÁ¸µµ°¡ ³ô´Ù´Â Á¡ÀÌ ÀáÀçÀû À§Çè ¿ä¼Ò·Î ²ÅÈ÷´Â °¡¿îµ¥ µð¿£¿¡ÇÁ°¡ Àü±¸Ã¼ ºÐ¾ß¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» º¸¿©ÁÖ´Â Á¡ÀÌ ºÎ°¢µÇ¸é¼ ÁÖ°¡°¡ »ó½ÂÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.