![]() |
¹ÌÄÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áß CVD (ÁõÂø)¿Í Eching (½Ä°¢) °øÁ¤¿¡¼ ÇÙ½É ºÎǰÀ¸·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Heater¿Í ESC¸¦ »ý»êÇÏ´Â ±â¾÷À¸·Î 1999³â ¼³¸³µÆ°í 2002³â 1¿ù ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀ嵯´Ù.
±èö¿µ KBÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¹ÌÄÚÀÇ Áַ¾ÆÀÌÅÛÀÎ È÷ÅÍ(Heater)ÀÇ ¸ÅÃâÀÌ Àü¹æ»ê¾÷ ¼ºÀåÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î Àü³â µ¿±â ´ëºñ 95% °í¼ºÀåÇß´Ù. ±Û·Î¹ú È÷ÅÍ ½ÃÀåÀÌ È®ÀåÇϰí ÀÖ¾î Ãß°¡ ¼ºÀåÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç "ÁöºÐ 39.9%¸¦ º¸À¯ÇÑ ÄÚ¹ÌÄÚµµ ¼¼Á¤ ¹× ÄÚÆÃ ºÐ¾ß¿¡¼ Áö¼Ó ¼ºÀå ÁßÀ̸ç Powder ¸ÅÃâ Áõ°¡¿Í ¿¬°áµÇ±â ¶§¹®¿¡ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¿äÀÎÀ¸·Î ÀÛ¿ëµÉ °Í"À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
±è ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "´Ù¸¸ ¹ÌÄÚÀÇ ¸®½ºÅ© ¿äÀÎÀº Àü¹æ»ê¾÷ÀÎ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ½ÃÀå ºÒÈ®½Ç¼º°ú ½Å±Ô °í°´»ç È®º¸ Áö¿¬ÀÇ À§Çè µî"À̶ó¸ç "¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ö¿ä°¨¼Ò ¹× ±Û·Î¹ú ±â¾÷µéÀÇ ÅõÀÚ À§ÃàÀ̶ó´Â À§Çè¿ä¼Ò°¡ Á¸ÀçÇÏÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚ »çÀÌŬÀÌ ÁøÇà ÁßÀ̱⠶§¹®¿¡ À§Çè¿äÀÎÀº ºÐ»êµÆ´Ù°í ÆÇ´ÜµÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.