|
·ÎÇÁƼ·ÏÀκ£½ºÆ®¸ÕÆ®´Â '·ÎÇÁƼ·Ï ¹ÝµµÃ¼ ½Å±â¼úÁ¶ÇÕ 1È£'¸¦ ¼³¸³ÇÏ°í ¹ÌÄÚ¼¼¶ó¹Í½º¿¡ 38.5¾ï¿ø ÅõÀÚ¸¦ ´ÜÇàÇÑ´Ù°í 24ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¹ÌÄÚ¼¼¶ó¹Í½º´Â 2020³â ÄÚ½º´Ú »óÀå»ç ¹ÌÄÚ¿¡¼ ¼¼¶ó¹ÍºÎǰ »ç¾÷ºÎ¸¦ ¹°ÀûºÐÇÒÇØ ¼³¸³µÈ ¹ÝµµÃ¼¿ë ±â´É¼º ¼¼¶ó¹Í ºÎǰ Àü¹®±â¾÷ÀÌ´Ù. ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ(Heater), Á¤Àüô(ESC, Electro Static Chuck), ±âŸ ¼¼¶ó¹Í ¼Ò¸ðǰÀ» ÆÇ¸ÅÇϰí ÀÖÀ¸¸ç ÄÚ½º´Ú½ÃÀå »óÀåÀ» ¸ñÇ¥·Î Çϰí ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ Á¡Á¡ ¹Ì¼¼È µÇ°í °í´Üȵʿ¡ µû¶ó ´õ¿í °¡È¤ÇÑ È¯°æ¿¡¼ ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â ¼¼¶ó¹Í ºÎǰÀÇ Çʿ伺ÀÌ Á¡Á¡ Áõ°¡µÇ°í ÀÖ¾î ¹ÌÄÚ¼¼¶ó¹Í½º°¡ ÁÖ·ÂÀ¸·Î ÇÏ´Â ½ÃÀåÀº ´õ¿í Ä¿Áú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¹ÌÄÚ¼¼¶ó¹Í½º´Â ±¹³»¿¡¼ ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ °ÅÀÇ µ¶Á¡Çϰí ÀÖ´Â ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ¿Í ESC ½ÃÀå¿¡¼ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇß´Ù. ³ôÀº ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÇöÀç À¯¼öÀÇ ±¹³»¿Ü Àåºñ¾÷ü¿Í Á¾ÇչݵµÃ¼ ±â¾÷¿¡ Á¦Ç° ÆÇ¸Å°¡ µÇ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ 2´ë ÁÖÁÖÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Àü·«Àû ÅõÀÚÀÚ·Î Á÷Á¢ Âü¿©ÇØ ÁöºÐ 13.8%¸¦ º¸À¯Çϰí ÀÖÀ¸¸ç ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±¹»êÈ ¹× ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¼ÒÀç °ø±ÞÀ» À§ÇØ Çù·ÂÇϰí ÀÖ´Ù.
±èµµÇü ·ÎÇÁƼ·ÏÀκ£½ºÆ®¸ÕÆ® ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "¹ÝµµÃ¼ »çÀÌŬÀÇ ÀúÁ¡¿¡ ´ëÇÑ ÆÇ´ÜÀÌ È¥ÀçÇÏ´Â »óȲÀ̳ª ±Û·Î¹ú ¼öÁØÀÇ ±â¼ú°æÀï·ÂÀÌ ÀÔÁõµÇ¾ú°í À繫ÀûÀÎ ¼º°ú°¡ ³ª°í ÀÖ´Â ¼ÒºÎÀå±â¾÷À» ¼±º°ÇØ ÇÕ¸®ÀûÀÎ ¹ë·ù¿¡À̼ǿ¡ ÅõÀÚÇÏ´Â ¿ª¹ß»ó ÅõÀÚÀü·«ÀÌ À¯È¿ÇØÁö´Â ½Ã±â"¶ó¸ç ÅõÀÚ ¹è°æÀ» ¼³¸íÇß´Ù.